产品单价 |
面议 |
起订量 |
1台 |
供货总量 |
100 台 |
发货期限 |
自买家付款之日起2天内发货 |
品牌 |
纳恩科技 |
NE-PE10是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE10 系统功能特点：
•的不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，双层处理空间
•8K镜面不锈钢腔体，密封性
•数字高频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果
•PLC+触摸屏控制，过程参数实时监控
•方便定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，佳气体控制
•性能的双极旋片泵，高抽速，寿命长，耐腐蚀
设备参数：
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 40 KHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，级密封 |
腔体容积 | 10L | ||
腔体尺寸 | 200(L)*200(W)*270(D)mm | ||
电极数量
| 2个镀金铝合金电极+ 2个铝合金托盘 | ||
托盘尺寸 | W*D :180（W）×220（D）mm | ||
处理层数 | 2层 | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
气路数量 | 小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 | ||
4 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
5 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 16M3/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
6 | 控制系统 | 触摸屏 | 4.3寸 |
PLC | 松下PLC模块 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
7 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
8 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 460（L）*460（W）*650（H）mm (不含三色灯高度) | ||
重量 | 60kg |
| 深圳纳恩科技有限公司 | |||
|---|---|---|---|
| 联系人 | 张小姐 |
微信 | 无 |
| 手机 | | 邮箱 | admin@naentech.cn |
| 传真 | 无 | 地址 | 南山区深港合作区 |
| 主营产品 | 等离子清洗机,等离子蚀刻机,等离子处理机,磁控溅射镀膜机 | 网址 | http://naen.b2b.huangye88.com/ |
